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电子行业超纯水用水标准

电子行业超纯水用水标准

以下标准由润源超纯水事业部,水处理技术部整理

以下标准仅供参考;

 

 

指 标 名 称

一 级 水(EW-1)

二 级 水(EW-2)

 电阻率MΩ.CM. (25℃)

18(95‰时间)不低于17

15(95‰时间)不低于13

  硅   ≤μg/L

2

10

 >1μm 微粒数

0.1

5

 细菌个数 ≤个/ml

0.01

0.1

  铜   ≤μg/L

0.2

1

  锌   ≤μg/L

0.2

1

  镍   ≤μg/L

0.1

1

  钠   ≤μg/L

0.5

2

  钾   ≤μg/L

0.5

2

  氯   ≤μg/L

1

1

 硝酸根  ≤μg/L

1

1

 磷酸根  ≤μg/L

1

1

 硫酸根  ≤μg/L

1

1

 总有机碳 ≤μg/L

20

100

 

点击次数:  更新时间:2012-02-12  【打印此页】  【关闭
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