电子行业超纯水用水标准
以下标准由润源超纯水事业部,水处理技术部整理
以下标准仅供参考;
指 标 名 称 |
一 级 水(EW-1) |
二 级 水(EW-2) |
电阻率MΩ.CM. (25℃) |
18(95‰时间)不低于17 |
15(95‰时间)不低于13 |
硅 ≤μg/L |
2 |
10 |
>1μm 微粒数 |
0.1 |
5 |
细菌个数 ≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
铜 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
锌 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
镍 ≤μg/L |
0.1 |
1 |
钠 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
钾 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
氯 ≤μg/L |
1 |
1 |
硝酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
磷酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
硫酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
总有机碳 ≤μg/L |
20 |
100 |